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自由曲面反射鏡

我們開發(fā)出一種結合慢刀路徑的光學探針測試與補償加工方法，實現(xiàn)不依賴B軸、大動態(tài)范圍、亞微米精度的在線測試與補償加工，極大的提高了自由曲面加工和檢測精度，100mm口徑自由曲面的面形精度優(yōu)于PV 0.5μm。